白光过问概括仪是一种高精度的光学丈量仪器，重要用于对各类精密器件及资料表表进行亚纳米级非接触式丈量 。
根基道理：
白光过问概括仪以白光过问技术为道理，通过分歧光学元件形成参考光路和检测光路 。照明光束经半反半透分光镜分为两束光，别离投射到样品表表和参考镜表表 。从两个表表反射的两束光再次通过度光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像 。由于两束光互有关涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的过问条纹 。过问条纹的亮度取决于两束光的光程差，凭据白光过问条纹明暗度以及过问条纹出现的地位，能够解析出被测样品的相对高度，从而实现对样品表表描摹的精确丈量 。
产品特点：
1. 高精度：白光过问概括仪拥有亚纳米级的显示精度，可能对样品表表进行高精度的丈量 。
2. 非接触式丈量：选取非接触式丈量步骤，预防了传统接触式丈量可能对样品表表造成的危险 。
3. 急剧丈量：丈量速度快，可能在短功夫内实现大量样品的丈量 。
4. 多参数丈量：可能自动聚焦丈量工件，获取2D、3D表表粗糙度、概括等一百余项参数 。
利用领域：
资料科学：用于丈量和分析各类资料表表的平面度、粗糙度、波纹度、面形概括、表表缺点等 。
光电子学：用于丈量薄膜、涂层的厚度以及光学膜的质量等 。
微电子学：用于微电子表表分析和MEMS表征等 。
机械造作：概括、轴向曲率、表表平展度
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