光谱共焦位移传感器是一种利用光谱共焦道理进行精密位移丈量的传感器,可能通过光学系统和分光技术实现非接触式的丈量。其主题道理基于光谱共焦技术,结合了“共焦成像”的纵深分辨能力和“白光色散”的波长编码个性。

白光色散:传感器发射一束宽光谱白光(蕴含多种波长),通过特殊设计的色散透镜(如消色差透镜组),使分歧波长的光在光轴上聚焦于分歧地位(短波长光聚焦近,长波长聚焦远)。
共焦定位:当被测物体表表位于某一聚焦地位时,只有与该地位对应的特定波长光会被反射回探测器,其他波长的光因离焦而被抑造。
光谱分析:反射光通过度光器件(如光栅或棱镜)分散为光谱,由光谱仪或光电阵列检测峰值波长。通过校准曲线(波长与距离的对应关系),即可精确推算物体表表的地位或位移。
高精度:可达亚微米甚至纳米级分辨率。
非接触丈量:预防对被测物体造成危险或滋扰。
适应多种资料:可丈量金属、陶瓷、玻璃、通明/半通明资料(如薄膜、液体表表)甚至多层结构。
抗倾斜滋扰:对丈量角度不敏感,倾斜表表仍可不变丈量。
急剧响应:适合动态丈量场景(如振动检测)。
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